益子研究室
ナノ電子工学(ナノ領域物性,ナノ電子回路計測評価)
 現在の高度情報化社会を支える重要な柱のひとつとして私たちの生活のあらゆる部分に使われている大規模半導体集積回路(LSI)などのナノエレクトロニクスに代表されるように、私たちが直接見ることのできないナノメータの微小領域でのできごとが、現代の私たちの生活のきわめて重要な部分を支えています。したがってこの領域で発生する現象を理解し、制御することは、安全も含めて私たちの生活そのものに関わることとなります。
 当研究室では、ナノ領域での物性の研究や、高機能・高性能化に向かって益々微細化・複雑化するLSIデバイスの高信頼性ならびに社会の安全安心の実現に役立つ、LSIの評価解析・テスト技術関連の研究ならびに技術開発を行っています。 
※ ナノメータ(nm)=1/1000(μm), 1 μm=1/1000(mm)

主な研究テーマ

(1)荷電ビーム応用解析技術に関する研究開発
(2)ナノ空間でのテスト、プロービング技術に関する研究・開発
(3)LSIの故障解析技術およびリバースエンジニアリングに関する研究開発
(4)ナノ空間での.固体物性/表面界面物性に関する研究               他