本委員会の成果報告である電気学会技術報告第1546号『プラズマ材料表面処理技術の最新動向』（ISSN 0919-9195）が出版されました．プラズマ表面技術にご興味のある方々は是非ご購読いただけたら幸いです！以下リンク先より冊子版，PDF版を購入いただけます．

本委員会の目的が無事達成されたことにより，本日をもって委員会は解散となります．委員会運営にご協力をいただいたみなさま，まことにありがとうございました．来年度に予定している技術報告の出版に向け，準備を進めて参ります．

プラズマ材料表面処理技術の動向調査専門委員会第８回研究会を開催しました．今回は高木先生（岩手大）の座長のもと，木村先生（名工大）および黒木先生（大阪府立大）からご講演があり，ハードコーティングにおける結晶粒制御や多層構造形成の研究およびフッ素樹脂の表面を大気圧プラズマ技術により大幅に改質する研究の最新動向について委員および参加者で情報共有をしました．

プラズマ材料表面処理技術の動向調査専門委員会第７回研究会を開催しました．今回は小川先生（中部大）からご講演があり，カーボンナノチューブを表面修飾することによる材料特性の高性能化研究について，最新の研究成果を含めた技術の詳細について報告していただきました．

プラズマ材料表面処理技術の動向調査専門委員会第６回研究会を開催しました．今回は小田先生（千葉工大）および太田先生（名城大）の２名からご講演があり，大気圧プラズマによるDLC成膜の数値研究およびHiPIMSプラズマの素過程研究に関する最新の研究結果をご紹介いただき，プラズマ応用技術の基礎的側面について深い議論を行うことができました．

プラズマ材料表面処理技術の動向調査専門委員会第５回研究会を開催しました．今回は大島先生（佐世保高専）の座長のもと，キム様（産総研）および高木先生（岩手大）の２名から講演があり，マイクロ波技術を駆使した大気圧・準大気圧プラズマおよび最先端パルスパワー技術を応用した多岐にわたる科学技術の研究についてご紹介いただき，プラズマ材料科学の将来性について知識共有をしました．

プラズマ材料表面処理技術の動向調査専門委員会第４回研究会を開催しました．今回は菊池先生（兵庫県立大）の座長のもと，安藤先生（足利大）および堤井先生（九大）の２名から講演があり，各種プラズマを用いた新規半導体薄膜作製技術に関する研究をご紹介いただき，プラズマのみならず材料科学的視点からも多くの議論が行われました．

令和３年電気学会全国大会において，本委員会が主催するシンポジウム「各種プラズマ表面処理技術の最新動向および将来展望」が開催されました．講演内容は以下の通り．

０	趣旨説明	市來龍大（大分大）
１	局所・超高速プラズマ処理の可能性：少数フロー型プロセスを指向して	上坂裕之（岐阜大）
２	粉体ターゲットを用いたスパッタリング成膜による材料探索範囲拡大への可能性	大島多美子（佐世保高専）他
３	液体窒素中放電による金属の表面窒化	吉田昌史（大同大）
４	ループ型誘導熱プラズマによるSi/SiCの大面積高速酸化処理	田中康規（金沢大）
５	気液界面プラズマによる炭素粉体の親水化およびスルホン化	竹内希（東工大）
６	プラズマ弾丸による表面処理：「必要な所に活性種を輸送する」から「必要な所で活性種を生成する」に向けて	白藤立（大阪市大）
７	準大気圧直流ヘリウムアークプラズマ照射によるタングステン表面の繊維状ナノ構造形成	菊池祐介（兵庫県立大）他
８	エネルギーが揃えられた特定イオンのみによる膜質向上の実験的検証	比村治彦（京都工繊大）
９	まとめ	高木浩一（岩手大）

「成膜」「拡散処理」「表面改質」「新概念」の分野より各２名の委員の方々に講演をしていただき，約５０名の参加者とともに専門性の高い議論と知識共有をすることができました．

プラズマ材料表面処理技術の動向調査専門委員会第３回研究会を開催しました．今回は黒木先生（大阪府立大）の座長のもと，菊池先生（兵庫県立大）および大島先生（佐世保高専）の２名から講演があり，核融合炉壁で発見されたタングステン表面ファズ構造を実験室プラズマで生成する研究および，ターゲットに固体でなく粉体を利用することで大幅な技術革新をもたらす研究をご紹介いただき，活発な議論がなされました．

プラズマ材料表面処理技術の動向調査専門委員会第２回研究会を開催しました．今回は東先生（兵庫県立大）の座長のもと，竹内先生（東工大）および佐藤先生（茨城大）の２名から講演があり，気液界面プラズマによるナノ材料の表面改質およびZnO透明導電膜のプラズマ成膜に関する研究の最新動向をご紹介いただき，活発な意見交換が行われました．

プラズマ材料表面処理技術の動向調査専門委員会第１回研究会を開催しました．今回は竹内先生（東工大）の座長のもと，東先生（兵庫県立大）および市來先生（大分大）の２名から講演があり，スパッタリング技術およびプラズマ窒化技術に関する技術の歴史，最近の研究動向から諸問題に至るまで議論をしました．

２０２０年度の委員会活動方針を決定しました．特にオンライン会議による情報交換を定期的に開催することが確認されました．

２０２０年Ａ部門大会でのテーマ付きセッション開催を見送り，よりテーマを絞った意見交換を行うため２０２１年全国大会でのシンポジウム開催を目指すことにしました．

各軽元素の金属表面への拡散現象および固溶体形成に関する情報交換，またプラズマ表面処理とトライボロジーに関する調査を行いました．

今年度の委員会の開催日程および，来年度に予定しているテーマ付きセッション提案の調整を行いました．

HiPIMS技術について，国内外の研究動向を調査しました．HiPIMSはとりわけ欧州で盛んに研究されており，今回はチェコおよびドイツの研究動向と我が国の動向を比較しました．

プラズマ表面技術の中でも，成膜技術に関する情報交換を行いました．

この２０年におけるプラズマ表面技術の進展状況を分析し，電気学会では「放電・プラズマ生成法」および「パルス電源」の新規性により技術が進展してきたと総括した．材料技術でありながら，電気学会では電気工学を主力とした研究が推進されてきた事実が明確になり，今後の研究スタンスとしても電気工学に焦点を当てていくべきと結論された．

電気学会全国大会＠北海道科学大学においてシンポジウム「放電・プラズマ・パルスパワー技術・研究の動向およびそれらへの期待」が行われました．

決定事項は以下の通りです．

• ２０１９年度はプラズマ表面技術に関する情報共有に集中する．
• ２０２０年度内に電気学会でテーマ付きセッションの開催を目指す．

委員会が正式に発足しました．今後ともよろしくお願いいたします．